ALD Valve

●ALD系列原子層沉積隔膜閥
●5 ms內完成閥門開啟和關閉
●工作溫度最高達392°F(200°C)
●流量Cv值:0.27或0.62
●高速循環壽命超過4千萬次

閥與閥流量一致性：±3%

耐熱型延長熱應用場合的執行器壽命

全封閉閥座設計，具有優越的抗膨脹和防污染能力

鈷合金隔膜提高強度和耐腐蝕，使用壽命長

高純級PFA閥座，廣泛的化學相容性

內部流道設計順暢，易於吹氣清潔處理無殘留

適合於超高純應用

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