模組化設計

根據客戶PID圖，用標準的基塊、閥門（隔膜閥、單向閥、減壓閥）、品質流量計、篩檢程式、壓力感測器等元件，在面板上採用組立積木的方式即可完成設計。

表面安裝

所有元件均採用符合SEMI標準的表面安裝方式，使用鍍銀螺絲進行連接，用簡單的工具即可完成安裝和後期的維護。

小型化設計

體積約為傳統面板的1/3相應的流道尺寸也縮小，對於汙染控制更有利。 

SEMI標準材料、電解拋光工藝和軌道焊接方式

接液部件均採用符合SEMI標準的不銹鋼材質，流道均經過標準電解拋光(Ra 0.13μm / Ra 5μin. )，連接處均採用軌道焊接方式。  

W/C 形密封

元件與基塊之間均採用W或C形金屬硬密封，密封部位和受力部位是分離的，能夠達到最優的密封效果。

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