全球領先的管閥件供應商 擁有完善的品質管理體系

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●氣瓶組件(Canister)在ALD應用提供絕佳的安全性和潔淨度保障
●接液金屬部件為316L不銹鋼,廣泛的化學相容性
內部電解拋光至粗糙度Ra≤0.25 μm(10 μin.)
洩漏率:≤1.0x10-9 std cm3 /s
提供多種氣瓶客製化服務

 


高純氣體控制組件

高純氣體控制元件,適用於半導體等行業高純氣體流體系統。高純氣體控制元件主要由隔膜閥、減壓閥和壓力錶等配件組成,通過將這些元件進行一體化集成,減少現場連接

確保產品滿足半導體製造行業對管閥件高潔淨度、高性能的要求

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